流量控制單元（FSCU）

FSCU（Flow System Control   Unit）是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團隊針對各大高校、科研院所的不同研究方向，為其量身打造的氣體、液體流量控制系統單元，目前大量應用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)領(lǐng)域。

FSCU可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌）及電磁截止閥開(kāi)關(guān)，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換，從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應用系統中，FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換，從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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流體系統

流體系統是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對應的流動(dòng)元件集合，各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對應。流體介質(zhì)是流體系統中的流動(dòng)物質(zhì)，流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導能力及其流體的作功能力。流體系統是由各種流動(dòng)元件相互連接而成，流動(dòng)元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口，如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流，如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量， 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運元件與之相連，其流量既可能流進(jìn)，也可能流出。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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